特征及用途：
產(chǎn)品特征：
◎采用等螺距及變螺距螺桿，吸氣排氣效率高、排氣溫度低、低功耗、低噪音、低振動。
◎具有高真空性能，極限壓力：1*10-2Torr（托）。
◎結(jié)構(gòu)簡單，旋轉(zhuǎn)部件無金屬接觸，易保養(yǎng)、維修費用低、使用壽命長。
◎工作腔及螺桿表面用聚四氟乙烯、鎳或哈氏合金涂層，適用范圍廣泛。
◎齒輪傳動部浸油潤滑，軸承采用強(qiáng)制潤滑，保證潤滑可靠性，極大延長軸承的檢修周期。
◎采用多道唇式密封設(shè)計，降低密封件同時失效的概率，有效杜絕泄漏產(chǎn)生。通過氮氣加壓保護(hù)防止被抽氣體對密封件的侵蝕，延長密封使用壽命。
◎不使用油或水介質(zhì)，對抽吸氣體無污染。
應(yīng)用范圍：
電子：半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀（PECVD）和反映離子刻蝕（RIE）工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿（PLASMA）的CVD制程。
石油化工：抽取可凝性氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體或含有微塵的氣體。
制藥醫(yī)療：藥物的真空干燥、藥物中間體回收、氣體消毒劑回收；為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工：真空蒸餾及溶劑萃取回收（萃取回收丙酮、多元醇等工藝）。
工業(yè)設(shè)備：集中式真空處理系統(tǒng)、擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝。
混合樹脂脫腥工藝；在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。
涉及無油污水真空處理的所有應(yīng)用。
食品：香料、香精提純；食品包裝等。
